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相关技术指标： 1）洁净等级专业高效洁净过滤装置，滤网采用进口超细玻璃纤维,确保洁净柜内CLASS 10~100级/1000级（10级一般是指空柜或每层放置固定数量晶圆盒情况下，必潔淨度能逹到须满足每立方英尺内颗粒≦10ea@0....
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