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无锡施耐尔电子设备有限公司

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百级洁净氮气柜 SNR-COL-4M

发布日期：2022/04/08

相关技术指标：

1）洁净等级

专业高效洁净过滤装置，滤网采用进口超细玻璃纤维,确保洁净柜内CLASS 10~100级/1000级（10级一般是指空柜或每层放置固定数量晶圆盒情况下，必潔淨度能逹到须满足每立方英尺内颗粒≦10ea@0.3um & ≦20ea@0.2um）。

2）TDH实验

即存放在洁净柜内经过干燥2小时的硅片不能有不正常或超标返颗粒的现象产生(返颗粒取样测试后总数平均数与原有硅片颗粒数对比≦10ea (包括0.2um及0.3um))

3）降湿速度

除湿性能可达到5%以下,空柜或每层放置固定数量晶圆盒，在氮气流量不大于70L/M的情况下，湿度从50%降至10%所需时间不大于30min；

4) 进口无尘风机：采用进口无尘室专用FFU风机，面风速：0.3～0.45m/s；

5）静电残余值测定施耐尔全功能洁净氮气柜（选配）

洁净氮气柜内放置的硅片盒，经过干燥2小时后，硅片盒取样及定点测试静电值必须≦1kv

6）柜内风速均匀性

洁净柜内有氮气的无死角，可使用风速测定仪来检测内部硅片放置各点的风速，不能有较大差异。

7）温湿度显示及记录管理。

温湿度显示：采用4英寸超大LED显示，有效视距可达30米；

温湿度显示监控: 可对温湿度作24小时不间断的监控，在洁净柜在完全关闭的情况下，湿度不能有超过±5%RH的波动。

▲性能优点：

控制系统为新一代微电脑传感自动控制充氮，气体流量压力可调，快速将氮气冲入柜内，使柜内压力略高于环境气体压力，保持足够的氮气浓度，更好控制柜内干燥及抗氧化性。控制盒集成了控制系统成为一个单独模组,不仅稳定性高，而且便于后期更换和维护升级。控制盒内核心部件为进口，保障产品的控制精度及设备的整体运行稳定。对存储湿敏组件要求高、快速降湿干燥、开关门频繁的现场作业起到至关重要防护。控制系统设计为可长年每天24小时不间断运行，加上可选加复合型控湿节氮主机，不仅起到断电除湿防护，且至少节省一倍以上的氮气，微电脑自动化设计，达到设定值自动停止运行，主机将处于半停止运行状态，延长使用寿命。

▲自动充氮：

采用自动传感感应系统,根据设定设定值自动控制,气体流量压力可调，快速将氮气冲入柜内，使柜内压力略高于环境气体压力，保持足够的氮气浓度。超过设定值时系统会自动打开氮气供应，均衡式供气,使箱内氮气分布比较均匀。当达到设定值时系统会自动切断氮气供应，机将处于半停止运行状态，延长其使用寿命。

▲控制方式：

控制仪采用高清双数显操控屏幕，湿度控制与温度显示各独立运行，温度显示范围-9℃～99℃，精度±1℃。湿度显示范围1%～99%RH,精度±3%RH，温湿度传感采用美国原装品牌honeywell,专用釆集模块设计方便校验维护。

▲结构特点：

➣规格尺寸：W1300*D800*H1850mm。

➣密封箱体：选用T1.2mm SUS304洁净双镜面不锈钢材质，材质制作前经过多道程序洁净及防锈处理，精密氩弧焊接，焊点光滑，确保箱体要做好的密封性能。

➣柜门视窗：门框视窗为高强度压装5.0mm钢化玻璃. 门开关采用平面加压一体化把手锁,具有防盗功能。

➣密封方式：气密式设计，耐老化，门与门框接合处采用防氧化磁性密封条,确保箱内密封.

➣预留升级：采用模块式设计，预留扩展接口，需要时可对低湿度及自动充氮加装升级.

选配：自制氮气装置、氧含量控制、不锈钢箱体、温湿度记录软件、报警装置、箱内照明等。

洁净：洁净等级十级、百级、千级可选.